डीएस1302 एक पेरोक्साइड इलाज योग्य एफकेएम है जो उच्च प्रदर्शन अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है जहां उच्च शुद्धता और कम कण उत्पादन दोनों की आवश्यकता होती है।